光学元件/

光束分析仪

激光光束分析仪提供高分辨率实时监测和空间光束强度分布的定量表征。主要可以用于准分子激光器,脉冲或连续激光器以及非相干光源,覆盖从近红外到软X射线的极宽光谱范围。UV/EUV灵敏度通过CCD芯片上的量子转换涂层实现。 可以适配多种不同的传感器(大/小面积、高空间分辨率、灵敏度和动态范围),以及一些特定应用。软件支持多种外围设备,如自适应反射镜、步进电机、衰减器、快门或电源监视器。借助强大的宏语言,可以方便地进行自动化或远程控制测量。

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  • 产品详情
一、应用程序包括
  • 根据 ISO 11146 确定光束参数
  • 指向稳定性诊断(ISO 11670)
  • 脉冲到脉冲的波动
  • 光束传播分析(焦散测量)
  • 光束形状的表征(均匀性、锐利程度)根据ISO 13694(特别针对匀化光斑)
  • 在线激光束检测(例如识别“热点”)
  • 优化激光操作参数
二、应用场景
  • 光束诊断 (近红外,可见光, 紫外线, EUV)
  • ISO光束参数
  • 光束传播 / 可聚焦性
  • M²(焦散测量)

三、特色功能
  • 宽光谱范围:~ 1 …. 1100纳米
  • 小面积和大面积CCD传感器
  • USB 3.0 或GigE(适配笔记本电脑)
  • 高动态范围(12 / 14 位)
四、分辨率和传感器窗口大小
  • 1440*1080;5*3.7mm
  • 2048*1536;7*5.3mm
  • 1600*1100;14.4*9.9mm

近场和远场的氩气准分子激光(193nm)的光束轮廓,显示2阶时刻的光束宽度

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